相關文章
Related ArticlesEVG501-晶圓鍵合機基本功能:用于學術和工業研究的多功能手動晶圓鍵合系統?;竟δ埽河糜趯W術和工業研究的多功能手動晶圓鍵合系統。
EVG820-層壓系統 EVG鍵合機 用于將任何類型的干膠膜自動,無應力地層壓到載體晶片上。這項*的層壓技術可對卷筒上的膠帶進行打孔,然后將其對齊并層壓到晶圓上。
EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機 全自動的臨時鍵合系統(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。
EVG850 DB-自動解鍵合系統(晶圓鍵合機) 經過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設備晶圓始終在整個工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機械剝離。
EVG 510-晶圓鍵合系統(EVG鍵合機) 是用于研發或小批量生產的晶圓鍵合系統-與大批量生產設備*兼容。