光學輪廓儀與同類產品相比具有哪些優勢？

更新時間：2024-07-15 | 點擊率：1100

　　光學輪廓儀是一款便捷的、精確的、實用的非接觸三維形貌測量系統。它建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）)等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

　　在發展初期，光學輪廓儀主要采用傳統的光學成像技術，通過鏡頭和傳感器來獲取物體的輪廓信息。隨著數字成像技術的發展，現代光學輪廓儀開始廣泛應用高分辨率CCD或CMOS傳感器，并結合數字信號處理和計算機視覺算法，實現對物體輪廓的高精度測量和分析。

　　同時，隨著激光技術和光學干涉技術的進步，光學輪廓儀也逐漸引入了激光投影和相位差測量等高精度技術，提高了測量的精度和準確性。此外，一些光學輪廓儀還結合了自動對焦、自動掃描等功能，使得測量更加便捷和高效。

　　目前，光學輪廓儀具有許多和大型機臺一樣的優點，包括：測量設置簡單易學，高速數據采集能力，強大的數據分析能力以及0.1納米量級的測試重復精度?？蛇x配自動樣品臺使儀器實現程序化。

　　光學輪廓儀的量測性能與其它同類產品相當，但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發展提供了基礎。系統包含了完整版的Vision分析軟件，該軟件是行業內功能較全的分析軟件，可實現二維和三維的數據分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具，包括自動測序功能、數據記錄和實時反饋及統計控制過程的合格/不合格標準。用戶采用可選的軟件包還可以定制專門的數據分析用戶界面。

　　產品優勢有以下7點：

　　1、Nikon干涉物鏡；

　　2、TMC光學隔振臺；

　　3、PI納米移動平臺及控制系統；

　　4、NI信號控制板和Labview64 控制軟件；

　　5、美國硅谷研發的合心技術和系統軟件；

　　6、關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌；

　　7、測量準確度重復性達到先進水平（中國計量科學研究院證書）。