納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術，是測試材料力學性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。可適用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。

影響納米壓痕試驗的因素很多，主要影響因素可歸納為以下幾種：

1.接觸零點的確定

2.力和位移的測定包括環(huán)境波動的影響和磁場強度所引起的變化

3.卸載曲線的擬合

4.熱漂移速率

5.由于表面粗糙度引起的接觸面積變化

6.力,位移的校準值

7.試驗設備的柔度

8.壓頭面積函數(shù)的校準值

9.由于試驗設備的溫度和最后一次校準后時間不確定度引起的校準漂移

10.試樣表面與壓入方向的不垂直度。